消費者應(yīng)用這種氦質(zhì)譜檢漏儀能夠從根本上保證這種產(chǎn)品擁有良好的應(yīng)用價值，在我國更多的產(chǎn)品漏率檢查之中原先更好的技術(shù)支持，因此氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)勢更保證了我國產(chǎn)品漏問題檢查的質(zhì)量。檢漏儀全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。氦質(zhì)譜檢漏方法在真空檢漏技術(shù)領(lǐng)域里已經(jīng)得到廣泛的應(yīng)用,這種方法的優(yōu)點是:檢漏靈敏度高,可以檢漏到10 -11 Pam3 / s 數(shù)量級,儀器響應(yīng)快,
1.噴吹法檢漏的原理 噴吹法檢漏是利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空，然后在被檢產(chǎn)品外表面噴吹氦氣，當被檢產(chǎn)品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，再進入氦質(zhì)譜檢漏儀，檢漏儀會報警并顯示當前漏率值。 2噴吹法檢漏的優(yōu)點 1.檢測靈敏度高; 2.定位準確; 3.對大容器或復(fù)雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏可靠性高。
為了避免串液故障發(fā)生，需要對導(dǎo)流區(qū)域和二道密封區(qū)域進行氦質(zhì)譜檢漏。 采用真空法進行檢漏時，采用水環(huán)泵、旋片泵、不銹鋼波紋管、球閥、節(jié)流閥組建真空系統(tǒng)。首先使用水環(huán)泵抽真空，然后充入氮氣，再次使用水環(huán)泵抽真空，反復(fù)幾次對換熱器內(nèi)部抽出水蒸氣和粉塵。使用工業(yè)吸塵器對換熱器外表面除塵和干燥。使用旋片泵抽真空和氮氣置換的方式對換熱器內(nèi)部進一步干燥。干燥后在管熱管抽真空后，在的漏點噴氦氣，觀察氦檢儀顯示情況。對漏點進行堵漏。
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